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項目背景:該項目于2012年運行,設計處理量700噸/天。本項目為半導體 生產過程中產生的硅粉研磨廢水(單晶硅),通過管式膜的濃縮過濾,硅 粉不僅得以回收利用,實現經濟價值,后續產水還實現了再利用。
工藝流程:單晶硅研磨廢水→管式超濾→產水→RO→回用;
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濃水壓濾提取硅粉
運行情況及參數:該系統共使用兩組超濾膜,每組6支串聯連接,自2012年 運行至今已有四年,膜通量穩定在70LMH以上,產水水質合格。